01
先写光刻胶类别,再数隔板
康奈尔纳米设施要求光刻材料按相容性整理并且彼此分开。光刻胶的存放、旋涂和烘烤在同一间房里完成,不同类别还被分到不同房间:多数正性光刻胶一间,SU-8 一类环氧和剥离用胶另一间,电子束光刻胶再单独一间。那些房间编号属于那栋楼。规划上要带走的更窄:储物说明如果只写“化学品”,对光刻区域就太粗,因为类别决定地址。
刻蚀酸不是第四类光刻胶。康奈尔的隔离方案把无机酸、硝酸和高氯酸这类氧化性酸,以及氢氟酸分成不同的行。氢氟酸要和其他酸分开,方案要求这种酸使用聚乙烯容器。氧化性酸被指向不可燃、非金属的存放,并远离有机物。在有人提出柜体材料之前,先把这些行写出来。光刻胶溶剂和硝酸放在同一层隔板上,不是可以报价的布置。
02
溶剂指向额定的易燃液体柜
美国国家科学院关于化学品管理的一章要求:易燃液体放进经认可的易燃液体储存柜;除了正在使用的以外,化学品不要留在台面上;除了正在进行的操作以外,也不要堆在化学排风装置里。涂胶机停着的时候,排风装置不会因此变成过夜仓库。同一章还要求每种化学品有固定位置,不相容的组别保持分开,因为即使瓶盖旋紧,逸出的蒸气也会损坏标签和隔板。
康奈尔的实验室手册有自己的数量测试:实验室里的易燃液体如果超过 10 加仑,并且这个数量把已经在使用的液体也算进去,这些液体就要放进额定足够的易燃液体柜;未在使用的易燃液体留在该柜中。手册写明,柜子如果不接风,两侧的金属塞要拧上,防火等级才保持得住。手册不要求必须接风;如果要接,就按制造方的说明和 NFPA 30 来做。这是康奈尔写给本院实验室的规则。另一个场地可能使用不同的门槛。无论门槛是多少,溶剂行写的是额定易燃液体柜,不是聚丙烯储物。
03
聚合物这一行只对酸类打开
康奈尔的存放指南要求腐蚀性液体放在耐腐蚀柜里,高度不超过视线,并且放进二次容器。指南还要求不要把酸放进易燃液体柜,因为酸蒸气会损坏柜子和柜内的容器。写出的例外是本身也易燃的有机酸:浓度达到或超过 80% 的乙酸归到易燃液体一侧。盐酸或硝酸的刻蚀槽不是这个例外。酸的一行和溶剂的一行仍然是两只柜子。
这些句子都没有批准某一种聚丙烯柜可以用于指名的刻蚀酸。康奈尔的方案对氧化性酸要求非金属存放,对氢氟酸要求聚乙烯容器。家具说明如果只写“聚合物”,就还没有在这些要求之间作出选择,也还没有读安全数据表。行上应写化学品名称和机构的分组。在持有数据表的审查人接受某种材料之前,柜体构造留空。聚丙烯储物是酸这一行上的问题,不是答案。
04
地面和排风装置不是多余的容积
国家科学院建议,存放的物品至少低于喷淋头 18 英寸,隔板大约不超过 5 英尺,以免人伸手到头顶去取,重的容器放在低处。易挥发的有毒化学品或气味很重的化学品,应放进通风柜,并与机构的安全部门确认。这些是摆放限制,不是任何柜子的容量承诺,不管柜子是聚合物还是金属。
康奈尔补充说,化学品不要放在地面上,因为地面存放会绊人、扩大泄漏,并挡住出口。它的二次容器说明要求托盘至少容纳最大容器的 110%,手册把这一点写成与 40 CFR 264.175 相一致,并作为本院的做法。瓶子下面的浅盘,和一张聚丙烯实验台或一只聚合物柜不是同一个物体。不要靠把大瓶立在地上,或把一周的瓶子停在排风装置里,来夸大台下的容积。
05
只冻结已经有柜子类型的那一族
报价可以记录机构已经指定给某一族的柜子数量,以及这一族已经带有的隔板限制:视线高度、二次容器,以及与相邻一族分开。报价可以标明光刻胶溶剂指向额定易燃液体柜。报价不能写成聚丙烯能够耐受某种刻蚀酸、某种光刻胶溶剂,或二者的混合物。日程表上印出聚合物的名称,并不带来相容性结论。
安全数据表如果还没有,构造栏就保持空白,数量也可以一起空白。询价用的参考编号只标识这次对话,不是检测报告。草图应连同类别清单、溶剂体积和酸类划分一起送出。后来更换光刻胶类别时增加一行,而不是沿用昨天的柜子。
若储存职责需要评估聚合物柜体或实验台,请单独核对聚丙烯实验室家具。材料名称本身不能证明它适合所接触的化学品、清洁方式或防火要求。
